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全面介绍液晶显示屏技术之LTPS显示技术



 低温多晶硅(LTPS)是指与传统方法相比(900°C以上),多晶硅在相对较低的温度下(~ 650°C和更低的)进行合成。由于大型玻璃面板在高温下曝光时容易引起形变,所以LTPS技术对于显示行业来讲是非常重要的,更重要的是,LTPS里面多晶硅的使用,在大规模电子设备(比如纯平显示或者图像传感器)生产时有着很大的潜力。多晶硅是由许多晶体或者高度有序的晶格产物所组成的纯粹的导电体。在1984年,研究显示,非晶硅是形成具有稳定结构和低表面粗糙度的多晶硅的完美的材料。硅膜由低压化学气相沉积(LPCVD)形成,以最大限度地减小其表面粗糙度。首先,非晶硅在560-640°C 时沉积,接着在900-1000°C 时再结晶。从非晶膜开始,而不是直接沉积晶体,是为了产生更好的结构以及更好的光滑度。1988年,研究人员发现,在热处理阶段使用更低的温度,伴随着先进的等离子增强化学气相沉积,能促进产生更高等级的导电性。这些技术成就深深地影响着微电子领域,光电领域以及显示增强行业。

LTPS

以下几点应用非常需要LTPS技术的支持:

1.电路做上玻璃-集成驱动、扫描器以及多路器-以减少使用额外的IC和玻璃连接器

2。更小的显示屏-高开口率-移动应用

3.在高电流负载的情况下(OLED需要电流驱动)比非晶硅有着更好的稳定性 




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